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- 产品描述
- 产品特性
- 技术参数
- 典型应用
-
- 商品名称: SGGG
SGGG晶体即钙镁锆掺杂钆镓石榴石，是铋铁石榴石外延膜的衬底材料。
作为较早开发的用于衬底的石榴石材料之一的钆镓石榴石（GGG）衬底 ，由于其晶格常数太小，无法用作高铋取代的铁石榴石外延层的衬底。因此用钙，镁和锆作为取代离子的SGGG晶体，更合适作为铋铁石榴石外延薄膜的衬底。
主要特点：
低位错密度
晶格常数一致性高
典型应用：
BIG磁光外延膜的衬底材料
磁制冷
-
材料
SGGG
分子式
Substituted Gd3Ga5O12
晶体结构
立方晶系
晶格常数
a=12.497 Å
生长方法
Czochralski
莫氏硬度
7.5
密度
7.09g/cm³
熔点
1730℃
反射系数
1.954 @ 1064nm
-
序号
指标名称
尺寸或其它信息
参考指标
1
尺寸
标称尺寸
3/4英寸
2
直径（mm）
3"
76.20±0.3
4"
101.60±0.3
3
厚度（μm）
3"
630±30
4"
800±30或定制
4
晶向
/
（111）±0.1°
5
晶格常数
/
12.497±0.003Å
6
定位边
主定位边
[-110]±2°
次定位边
[-1-12]±2°
7
表面质量
Flatness（平整度）
覆盖总面积80%的中心区域内最大值-最小值≤6µm
TTV
覆盖总面积80%的中心区域内最大值-最小值≤6µm
Dislocations（位错）
覆盖总面积80%的中心区域内≤10/m2
8
其他缺陷
（外延面）3"
覆盖总面积80%的中心区域内≤10
4"
覆盖总面积80%的中心区域内≤10
专业研发、设计、⽣产和销售晶体材料及其应⽤器件
