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大口径波长移相激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
关键词：
大口径波长移相激光干涉仪
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- 商品名称: 大口径波长移相激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
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1. 准确测量大口径的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。 -
技术参数产品系列 φ300 移相数字化干涉仪 φ600移相数字化干涉仪 φ800 移相数字化干涉仪 测量方式 菲索干涉原理 菲索干涉原理 菲索干涉原理 测量口径 300mm 600mm 800mm 移相方式 波长移相 偏振移相或波长移相 偏振移相或波长移相 主机波长 632.8nm 660nm 或 632.8nm 660nm 或 632.8nm 透射平面参考镜面形误差
(PV)≤λ/10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm 反射平面参考镜面形误差
(PV)≤λ/10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm 空腔精度 (PV) ≤λ10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm ≤λ/10, λ=632.8nm 面形误差测量重复性 ≤1nm (2δ) ≤1nm (2δ) ≤1nm (2δ) 主相机分辨率 2048*2048 2048*2048 2048*2048 主相机调焦能力 有 有 有 测量高平行度光学元件透、
反射波前支持 支持 支持 工作温度要求 22℃±1℃ 22℃±1℃ 22℃±1℃ 工作温度波动要求 每小时变化小于 1℃ 每小时变化小于 1℃ 每小时变化小于 1℃ 工作湿度要求 55%±10%RH 55%±10%RH 55%±10%RH 隔震要求 气浮平台，固有频率：1~2Hz 气浮平台，固有频率：1~2Hz 气浮平台，固有频率：1~2Hz 工作电压 220V 220V 220V
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