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- 商品名称: 4吋激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
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1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。 -
项目 型号 测量方式 菲索干涉原理 移相方式 波长移相或机械移相 主机波长 632.8nm (可定制) 主相机分辨率 2048*2048 测量口径 4-inch(101.6mm) 主相机调焦能力 有 主相机采集速度 50Hz 透射平面参考镜面形误差
(PV)λ10 反射平面参考镜面形误差
(PV)≦ซ/10 (可定制λ/20) 空腔精度 (PV) ≦λ/10, λ=632.8nm 面形误差测量重复性 (RMS) ≦1nm (2δ) 测量高平行度光学元件透、反射
波前支持 标准配件 计算机、条纹监视及分析软件 相干长度 1.0m (若被扩束，此参数会变长) 工作温度要求 22℃±1℃ 工作温度波动要求 每小时变化小于 1℃ 工作湿度要求 55%±10%RH 隔震要求 气浮平台，固有频率：1-2Hz 工作电压 AC 110-220V,50/60Hz
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