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离子束抛光机
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  • 离子束抛光机

离子束抛光机

离子束抛光机是高束流密度、较小的束散角和较大束流均匀度的高能离子束轰击光学元件表面，实现光学元件高精度加工的抛光设备。高能离子的产生是基于高纯度惰性气体，经过中空阴极，在电源模块放电作用下产生电离，并将电子束流注入腔体内，电子束流经过电子均匀板将束流均匀分散进入到阳极区域内，电子在阳极的电场和磁场的作用下电力，并在栅网的电场作用下引出离子束流，通过系统控制，实现均匀、稳定的光学元件表面去除。

关键词：

离子束抛光机

所属分类：

光学加工检测设备

  • 产品描述
  • 产品特性
  • 技术参数
  • 典型应用
    • 商品名称: 离子束抛光机

    离子束抛光机是高束流密度、较小的束散角和较大束流均匀度的高能离子束轰击光学元件表面，实现光学元件高精度加工的抛光设备。高能离子的产生是基于高纯度惰性气体，经过中空阴极，在电源模块放电作用下产生电离，并将电子束流注入腔体内，电子束流经过电子均匀板将束流均匀分散进入到阳极区域内，电子在阳极的电场和磁场的作用下电力，并在栅网的电场作用下引出离子束流，通过系统控制，实现均匀、稳定的光学元件表面去除。

    离子束抛光机是高束流密度、较小的束散角和较大束流均匀度的高能离子束轰击光学元件表面，实现光学元件高精度加工的抛光设备。高能离子的产生是基于高纯度惰性气体，经过中空阴极，在电源模块放电作用下产生电离，并将电子束流注入腔体内，电子束流经过电子均匀板将束流均匀分散进入到阳极区域内，电子在阳极的电场和磁场的作用下电力，并在栅网的电场作用下引出离子束流，通过系统控制，实现均匀、稳定的光学元件表面去除。

  • 1、去除均匀，稳定性优于 98%。 

    2、去除函数是高斯形，半高宽可调，从 40mm~0.1mm，从而实现各个 尺寸的口径去除。 

    3、去除函数相对 Z 轴移动不敏感，可以实现大陡度的复杂曲面加工。

  • 项 目

    参数指标

    可加工元件材料

    石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC 、蓝宝石等

    可加工元件尺寸

    10mm~1500mm

    加工精度

    优 于 2 n m R M S

    加工形状

    平面、球面、非球面、复杂曲面

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