机器人研抛一体机
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机器人研抛一体机

基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。 利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

关键词:

机器人研抛一体机

  • 产品描述
  • 产品特性
  • 技术参数
  • 典型应用
    • 商品名称: 机器人研抛一体机

    基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。 利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

    基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
    利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

  • 1、基于工业机器人专用控制系统,实现高精度表面成型。
    2、基于力控传感器的柔性抛光头设计,精确控制加工过程去除函数。
    3、根据加工要求,开放式全链路加工工艺软件开发。
    4、根据客户要求定制开发

  • 项 目

    参数指标

    可加工元件材料

    熔石英、K9、微晶等光学元件;合金铝 等金属元件

    可加工元件最大尺寸

    ≥φ1000mm

    抛光工具转速

    50-800RPM

    力传感器量程

    Fx/Fy:100N;Fz:200N

    力传感器精度

    非线性和滞后优于0.5%,串扰优于2%

    力传感器分辨率

    FxFy:0.09N;Fz:0.33N

     

     

     

    工具轴运动范围

    1:±180°

    2:-90°至+150°

    3:-180°至+75°

    4:-400°至+400°

    5:-125°至+120°

    6:-400°至+400°

    工具轴最大运动速度

    1-6轴均为175°/s

    重复定位精度

    0.06mm

    面积需求

    3.5m×3.5m×3m

    温度要求

    22±0.5℃

    湿度要求

    40%-80%RH

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